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晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 營運組織資深副總經理秦永沛今 (2) 日表示，2023 年 5 奈米產能與 2020 年相較，將大增逾 4 倍；而為提高 3 奈米與 2 奈米開發與生產效率，原先計畫的研發中心將改為晶圓十二廠第八期、第九期，其中第八期將於今年完成，也計劃建造 2 奈米製程晶圓廠，正進行土地取得程序。

台積電今日舉辦 2021 年技術論壇，秦永沛指出，台積電承諾持續投資產能，以支援全球客戶需求，迅速提升 7 奈米、7 奈米強化版與 6 奈米產能，今年 7 奈米系列產能與 2018 年相比，將會大幅成長超過 4 倍，而 2023 年 5 奈米產能與 2020 年相較，同樣將大幅成長逾 4 倍；2018 年至 2021 年，先進製程技術產能增加 3 成以上。

秦永沛表示，5 奈米製程 D0 值 (平均缺陷密度) 比 7 奈米同期的表現還好，已低於 0.1，廣泛採用 EUV 是其中一項重要因素，而 4 奈米初期 D0 值表現也相當不錯，預期 2022 年會跟 5 奈米一樣好。

秦永沛指出，去年台積電裝設的 EUV 機台設備，約占全球 EUV 技術產能的一半，占全球累計晶圓數量的 65%，且今年台積電的 EUV 光罩護膜產能將是 2019 年的 20 倍，以滿足大量量產需求。

特殊製程技術方面，秦永沛說明，台積電特殊製程包括電源管理、混合訊號、感測器、指紋辨識等，產能將年增 12%。

晶圓廠區規劃方面，秦永沛指出，位於台南廠區的晶圓十八廠，前三期廠房已量產 5 奈米製程，第四期正在施工中，十八廠第五到八期是 3 奈米生產基地，正準備中；晶圓十四廠第八期將是未來特殊製程生產基地，先進封裝生產基地也在興建中。

新竹廠區部分，秦永沛表示，為提高 3 奈米與 2 奈米開發與生產效率，原先計畫的研發中心將改為晶圓十二廠第八期、第九期，其中第八期正在興建中，將於今年完成，也計劃建造一座生產 2 奈米製程的新晶圓廠，目前正進行土地取得程序。

至於美國亞利桑那州廠，秦永沛指出，該廠區位於鳳凰城機場的北邊，第一期正興建中，預計 2024 年採 5 奈米製程量產，月產能 2 萬片。